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3.1 扩散制结原理 3.1.1 掺杂与p-n结的形成 3.1.2 扩散的基本原理 3.1.3 扩散的方式 3.2 扩散制结工艺流程 3.2.1 企业扩散制结工艺流程 3.2.2 扩散制结影响因素分析 3.2.3 扩散后检测 3.3 扩散制结操作与监控 3.3.1 扩散制结工艺步骤 3.3.2 扩散设备 3.3.3 扩散车间生产作业规范 3.3.4 不良片与返工作业 习 题